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氯化氢气体的品质都有哪些严格要求?

作者 氯化氢浏览 发布时间 2020-01-07
一般来说,电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯度氯化氢气体。 除了对纯度的高要求外,对氯化氢气体的质量要求也非常严格。
  随着微电子工业朝着大尺寸,高集成度,高均匀性和高完整性的方向飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延基体腐蚀的电子级氯化氢提出了新的要求。 除了具有大于99.999%的纯度外,氯化氢中有机杂质(例如THC,H2O和金属离子)的含量越低越好。
  电子级氯化氢主要用于外延生长之前的硅和砷化镓的高温气相蚀刻,以去除钠离子。 此外,高纯度氯化氢还用于金属表面化学处理,激光气体混合物,薄膜生产和碳纤维表面处理。 过去,我国大多数国家从美国,日本等国家进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研究开发取得了许多技术突破。
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